Venus2000檢測係統

 

 

    支持:

 

    》線寬/套刻/缺陷三合一功能

    》0.5um以上線寬量測

    》用戶自定義缺陷檢測

    》提供校準補償功能

    》全自動聚焦功能

    》反射與透射測量功能

    》雙屏顯示器同時操作功能

 

 

  產品介紹:

 

  世爵平台Venus2000檢測設備可滿足半導體製程中的光學檢測需求,同時具有套刻、線寬和缺陷檢測三種功能,可滿足90nm工藝節點的套刻測量,0.5um以上的線寬測量及用戶自定義的缺陷檢測。Venus係列產品采用先進的圖形處理技術和成像係統,具有測量精度高、速度快、應用靈活等特點,主要應用於半導體工藝、微納加工、MEMS、LED等領域中的良率控製。

 

 

 

  指標